Bomba de vacío de paletas secas InPower utilizada en la industria de semiconductores para crear un entorno de vacío limpio y seco. Encuentra una amplia gama de aplicaciones en la industria de semiconductores debido a su limpieza, confiabilidad y eficiencia. Estas bombas son esenciales para procesos como deposición química de vapor, deposición física de vapor, implantación de iones y grabado.

Características:

Las bombas de vacío de paletas secas son un tipo de bomba de vacío que combina los beneficios de la tecnología de tornillo seco con enfriamiento por agua para mejorar el rendimiento y la eficiencia. Ofrecen una solución confiable, eficiente y de bajo mantenimiento para aplicaciones de vacío exigentes que requieren tanto funcionamiento en seco como disipación de calor efectiva.

Modelo:LGB30/50/70/110/150/180/200/220/270/300/360/400/500

Vacío máximo: menor o igual a 1 Pa

VELOCIDAD 50 Hz:30-500 L/s

VELOCIDAD 60 Hz:36 - 600 L/s

Modelo			LGB30	LGB50	LGB70	LGB110	LGB150	LGB180	LGB200	LGB220	LGB270	LGB300	LGB360	LGB400	LGB500
VELOCIDAD (50 Hz)		L/s	30	50	83	110	150	180	200	230	270	300	360	360	500
VELOCIDAD (50 Hz)		m³/h	110	180	300	400	540	650	720	830	970	1080	1300	1500	1800
Vacío máximo (50 Hz)		Pensilvania	5	5	5	5	5	5	5	5	5	5	5	5	5
Presión máxima de escape		bar	1.2	1.2	1.2	1.2	1.2	1.2	1.5	1.2	1.2	1.2	1.2	1.2	1.2
POTENCIA (50 Hz)		Kw	4	4	5.5/7.5	11	15	15	18.5	18.5	22	30	37	37	37
Velocidad del motor (50 Hz)		RPM	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880
Conectar	EN	mm	50	50	65	65	100	100	150	150	150	150	150	150	150
Conectar	AFUERA	mm	40	40	65	65	80	80	100	100	100	100	100	100	100
Agua	Fluir	L/min	6	6	10	15	20	20	25	25	28	28	28	28	28
	Presión	MPa	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35
	Conectar		G3/8"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"
Método de enfriamiento		Aire agua	Aire agua	Agua	Agua	Agua	Agua	Agua	Agua	Agua	Agua	Agua	Agua	Agua	Agua
Ruido		dB	75	75	75	76	76	78	78	78	80	80	85	85	85
Peso		Kg	310	310	475	570	840	840	1200	1220	1250	1300	1350	1380	1400
Requisitos especiales		Según los requisitos, se puede configurar con frecuencia variable, anticorrosión, a prueba de explosiones, etc.

Bomba de vacío de paletas secas inPower Área de aplicación:

Fabricación de semiconductores:

En procesos de fabricación de semiconductores como CVD, PVD, implantación de iones y grabado, las bombas de vacío de tornillo seco refrigeradas por agua ayudan a mantener los niveles de vacío requeridos al tiempo que ofrecen una disipación de calor eficiente para garantizar un rendimiento constante.

Deposición de película delgada:

Las bombas de tornillo seco refrigeradas por agua se utilizan en técnicas de deposición de películas delgadas, como la pulverización catódica y la evaporación, donde el control preciso del vacío y la gestión del calor son esenciales para depositar películas delgadas uniformes sobre sustratos.

Procesos de tratamiento térmico:

Las industrias involucradas en procesos de tratamiento térmico, como la metalurgia y la industria aeroespacial, dependen de bombas de vacío de tornillo seco refrigeradas por agua para crear entornos de vacío para recocido, soldadura fuerte y otros tratamientos de alta temperatura mientras se mantiene el sistema fresco.

Procesamiento químico y farmacéutico:

Las bombas de tornillo seco refrigeradas por agua desempeñan un papel crucial en las aplicaciones de procesamiento químico donde es necesario mantener un vacío limpio y seco para los procesos de reacción, destilación y recuperación de solventes.

Investigación y desarrollo:

Los laboratorios e instalaciones de investigación de diversas industrias utilizan bombas de vacío de tornillo seco refrigeradas por agua para pruebas y experimentación, proporcionando condiciones de vacío confiables para estudiar materiales, procesos y equipos.

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