La bomba de vacío de tornillo sin aceite InPower gira mediante un rotor impulsor e impulsado para agrandar la sección de succión sellada para inhalar gas. Después de que el gas bombeado ingresa a la cámara de la bomba, la sección sellada se moverá desde el extremo de succión al extremo de descarga junto con la rotación del rotor impulsor e impulsado, la presión aumenta de manera constante y no hay un fenómeno de escape intermedio. Cuando el espacio sellado está conectado al puerto de descarga, el gas en el pasaje de descarga se contraataca en la cámara de la bomba, lo que hace que la presión y la temperatura del gas en la cámara de la bomba aumenten y produzcan ruido de flujo de aire. A medida que la bomba continúa funcionando, el volumen del espacio sellado comienza a volverse cada vez más pequeño y el gas en la cámara de la bomba se descarga continuamente. Hay lubricación sin aceite para la cámara de la bomba. Para que pueda obtener un vacío limpio. Se debe realizar un tratamiento anticorrosión cuando la bomba de vacío de tornillo succiona gases corrosivos.

Características:

Estructura de rotor más compleja, requisitos de mayor precisión, procesamiento de rotor más difícil y tiempo de procesamiento más largo; al mismo tiempo, bomba de vacío de tornillo de avance variable con menor potencia de funcionamiento, menor ruido y menor temperatura de funcionamiento de la bomba.

Bomba de vacío de tornillo sin aceite inPower Parámetros técnicos:

Modelo:LGB30/50/70/110/150/180/200/220/270/300/360/400/500

Vacío máximo: menor o igual a 1 Pa

VELOCIDAD 50 Hz:30-500 L/s

VELOCIDAD 60 Hz:36 - 600 L/s

Modelo			LGB30	LGB50	LGB70	LGB110	LGB150	LGB180	LGB200	LGB220	LGB270	LGB300	LGB360	LGB400	LGB500
VELOCIDAD (50 Hz)		L/s	30	50	83	110	150	180	200	230	270	300	360	360	500
VELOCIDAD (50 Hz)		m³/h	110	180	300	400	540	650	720	830	970	1080	1300	1500	1800
Vacío máximo (50 Hz)		Pensilvania	5	5	5	5	5	5	5	5	5	5	5	5	5
Presión máxima de escape		bar	1.2	1.2	1.2	1.2	1.2	1.2	1.5	1.2	1.2	1.2	1.2	1.2	1.2
POTENCIA (50 Hz)		KW	4	4	5.5/7.5	11	15	15	18.5	18.5	22	30	37	37	37
Velocidad del motor (50 Hz)		RPM	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880
Conectar	EN	milímetro	50	50	65	65	100	100	150	150	150	150	150	150	150
Conectar	AFUERA	milímetro	40	40	65	65	80	80	100	100	100	100	100	100	100
Agua	Fluir	L/min	6	6	10	15	20	20	25	25	28	28	28	28	28
	Presión	Mpa	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35
	Conectar		G3/8"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"
Método de enfriamiento		Aire agua	Aire agua	Agua	Agua	Agua	Agua	Agua	Agua	Agua	Agua	Agua	Agua	Agua	Agua
Ruido		Db	75	75	75	76	76	78	78	78	80	80	85	85	85
Peso		Kg	310	310	475	570	840	840	1200	1220	1250	1300	1350	1380	1400
Requisitos especiales		Según los requisitos, se puede configurar con frecuencia variable, anticorrosión, a prueba de explosiones, etc.

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Es ideal para la mayoría de aplicaciones con variantes específicas diseñadas para los mercados químico e industrial, con un enfoque particular en los mercados de productos químicos finos y farmacéuticos.

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Situación de producción:

Bomba de vacío de tornillo sin aceite inPower LGB Área de aplicación:

Equipos de metrología e inspección:

Los sistemas de vacío en las herramientas de metrología e inspección que se utilizan en la fabricación de semiconductores requieren bombas confiables para evacuar las cámaras y garantizar mediciones precisas. Las bombas de tornillo seco proporcionan el rendimiento de vacío necesario para estas aplicaciones.

Implantación de iones:

Las bombas de tornillo seco son esenciales para crear y mantener los altos niveles de vacío necesarios en los equipos de implantación de iones, que se utilizan para introducir átomos dopantes en materiales semiconductores para modificar sus propiedades eléctricas.

Fotolitografía:

En el proceso de fotolitografía, las bombas de tornillo seco ayudan a evacuar la cámara de la herramienta de exposición, lo que garantiza la transferencia precisa de patrones a las obleas semiconductoras durante el proceso de fabricación de semiconductores.

Investigación y desarrollo:

Las bombas de tornillo seco también se utilizan en laboratorios de investigación y desarrollo dentro de la industria de semiconductores para probar nuevos procesos, materiales y equipos en condiciones de vacío controladas.

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